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形狀記憶合金薄膜
資料來源：
日經產業新聞第9版 2006/8/24
時間：
2006/8/24
日本物質、材料研究機構，開發出期待作為使微小機械作用的致動器(Actuator)材料之形狀記憶合金薄膜量產技術。
新薄膜是將由鈦、鎳、銅所作成的薄膜，以攝氏500度以上加熱作出細微的結晶構造。即使銅的比例在20~30%、鈦在44~49%的範圍改變，形狀記憶合金的形狀開始變化溫度仍可保持攝氏50~60度，比室溫高。以過去的方法來作的話，金屬的比率需要精密控制，且舊薄膜只有30%可為致動器所利用；新薄膜則可全部利用。
以電來加熱薄膜的話，整體長度會有5%的伸縮範圍，相當於以前壓電元件的50倍，使物體作用的動力也超出15倍。期待利用於用來夾住細胞的機械手臂(Manipulator)或使血管不阻塞的Stent等方面。
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